什么是高純氣體管道配管技術？所謂的高純氣體配管技術，是包括高純供氣系統的正確設計、閥門管件及附件的合理選擇、管道施工、安裝試驗和測試等；是高純氣體供應系統的重要組成部分；是保證高純氣體安全穩定地輸送到用氣點，且符合設備使用要求的關鍵技術。

　　高純氣體管道工程應用領域

　　高純氣體管道系統工程有著能保證氣體的純度、保證標準氣體流量、壓力穩定和量值傳遞不發生變化等特點，廣泛應用于半導體、集成電路、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫藥、各種實驗室、科研研究所、標準測試等高科技行業。

　　常見氣體種類：

　　在電子工業中普通氣體，也稱大宗氣體(Bulkgas)：氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氮氣(A2)等；除普通氣體外，電子工業還會用到大量的高純特種氣體(Specialtygas)，如：SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O等等。這些特殊氣體根據氣體性質，類別通?？煞譃楦g性、毒性、易燃性、助燃性、惰性等。

　　常用半導體氣體分類如下:

　?。ㄒ唬└g性/毒性:HI、BF3、WF6、HBr、SiH2C2、NH3、PH3、C12、BCI3等

　?。ǘ┛扇夹?CH4、SiH4、PH3、AsH3、SIH2CI2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等

　?。ㄈ┲夹?O2、C12、N2O、W3等

　?。ㄋ模┒栊?CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等

　　半導體行業中使用的電子特種氣體，很多都是對人體有害的。比如，半導體制程工藝最常見的特種氣體：硅烷（SiH4）就具有自燃特性，一旦發生泄漏，它們就會與空氣中的氧氣劇烈反應并開始燃燒。再比如磷烷（PH3）和坤烷（AsH3）也具有劇毒性，任何輕微的泄漏都可能對人們的生命造成傷害。正是由于這些明顯的危險，所以對于高純氣體供應系統設計的安全性要求特別高。