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高純氣體的純度標準

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高純氣體的純度標準

發布日期:2023-03-16 00:00:00 作者: 點擊:

  高純氣體是指純度大于99.999%的氣體,這類氣體通常被用于半導體、電子、醫藥等高端應用領域。由于高純氣體的應用要求極高的純度,因此需要一套嚴格的純度標準來保證其質量和性能。本文將介紹高純氣體的純度標準。

  高純氣體的純度可以用不同的指標來表示,這里我們主要介紹以下幾種指標:

  體積純度

  體積純度是指氣體中所含的目標成分占總體積的百分比。通常以“xxxvol%”(xxx為目標成分的百分比)的形式表示。例如,99.999%的氧氣表示氧氣占氣體總體積的99.999%。

  質量純度

  質量純度是指氣體中所含目標成分的質量除以總質量的百分比。通常以“xxxwt%”(xxx為目標成分的質量百分比)的形式表示。例如,99.999%的氧氣表示氧氣占氣體總質量的99.999%。

  雜質含量

  氣體中的雜質是指與目標成分不同的其他氣體、液體、固體等化合物和雜質元素。雜質含量是指氣體中除目標成分外的全部成分的百分比,通常以“ppm”(百萬分之一)或“ppb”(十億分之一)為單位。例如,氧氣中的雜質含量為10ppm表示氧氣中雜質的數量占氣體總體積的萬分之一。

  基底金屬含量

  高純氣體制備的過程中,氣體往往會與容器接觸,因此容器的基底金屬(如銅、不銹鋼等)可能會成為雜質?;捉饘俸渴侵笟怏w中基底金屬的含量,通常以“ppt”(萬億分之一)或“ppq”(十萬億分之一)為單位。例如,氧氣中的銅含量為1ppt表示氧氣中銅的數量占氣體總體積的萬億分之一。

  高純氣體的純度標準通常由業內標準、國際標準和用戶需求等方面綜合考慮。以下是常見的幾種高純氣體的純度標準:

  電子級氣體標準

  電子級氣體是指用于半導體制造、平板顯示器等電子器件生產的高純氣體。其純度標準通常按照國際半導體工業協會(SEMI)制定的標準來執行,其中主要指標為體積純度、雜質含量和基底金屬含量。以氧氣為例,電子級氧氣的標準為99.9999%的體積純度,雜質含量為1ppm以下,基底金屬含量為ppt以下。

  醫用氣體標準

  醫用氣體是指用于臨床醫學應用的高純氣體。其純度標準主要按照歐洲藥典、美國藥典等醫藥行業標準執行。主要指標為體積純度、雜質含量和微生物含量。以氧氣為例,醫用氧氣的標準為99.5%以上的體積純度,雜質含量為0.1%以下,微生物含量為每立方米不超過10個。

  分析用氣體標準

  分析用氣體是指用于科研和分析測試等應用的高純氣體。其純度標準通常由用戶需求和應用要求決定,可能采用嚴格的化學分析方法來檢測純度。以氧氣為例,分析用氧氣的標準可能要求99.999%以上的體積純度,雜質含量為ppm以下。

  總之,高純氣體的純度標準是由多種因素共同決定的,其中各種指標相互聯系,需要綜合考慮。在制備高純氣體時,需要采用嚴格的制備工藝并對氣體進行有效的純化與檢測,以達到所需的純度標準。

  


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